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当前位置：天津瑞利光电科技有限公司>> 日本ELIONIX电子束光刻系统
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 电子/电池,电气 |
|---|---|---|---|
| 组件类别 | 光源 |
ELIONIX-电子束光刻系统-ELS-HAYATE
产品型号：ELS-HAYATE
产品介绍：ELS-HAYATE能够在数小时内制造出完整的8英寸晶圆尺寸的压印模具。ELS-HAYATE非常适合需要高吞吐量和超细图案分辨率的大型制造写入场。
性能特点：
可实现字段大小5mm的统一绘制
实现了业界的5毫米偏转。因为可以统一绘制的区域变大，因此它非常适合在意字段间连接误差的应用程序。此外，由于样品表面内的载物台移动次数也减少，高吞吐量的微细加工也能起到作用。
采用大电流电子光学系统
配备高电流电子光学系统，可以实现超出电子束光刻常识的高通量微制造。以前通过激光光刻或光刻产生的微米到毫米量级的图案，现在可以高质量曝光。
400MHz生产用高速扫描时钟
当在高电流下进行光刻时，须将光斑间距设置得较宽，以平衡小剂量时间和良好剂量。
参数：
产地：日本
加速电压：50 kV
束流：1 nA～800 nA
最小光束直径：D 10 nm
标准场尺寸：5000μm
最小/最大字段大小：
最小1000μm
最大5000μm
扫描时钟：最大400MHz
最小发射间距：最小1.0nm
最大样品尺寸：8“晶圆/12"晶圆
最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
加载机制：
单台自动装载机
多功能自动装载机
机器人装载机
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