XONOX干涉仪系统VT750 返回列表页

产品名称：XONOX干涉仪系统VT750

产品型号：VT750

产品介绍

VT750是用于生产、质量检验和计量实验室环境的干涉仪塔。此外，还提供“tower only"版本“B"，用于集成现有或第三方干涉仪单元，或配备ZYGO Verifire和ZYGO MX条纹分析软件的版本“Z"。该系统可以配备PC桌、2个屏幕、鼠标和键盘，也可以配备内置PC和触摸面板，以优化操作并更大限度地减少生产环境中的空间需求。

性能特点

l 天然花岗岩柱具有非常平坦和准确的导向表面，便于使用，可以非常准确地测量光学元件的曲率半径

l 高精度和准确的线性标尺，具有高的分辨率，直接与条纹分析软件连接

l 测量台在空气轴承滑块上平衡和导向，便于快速、简单、准确地设置和移动

l 占地面积小，价值非凡，结合高精度和刚性，免维护设计

l 坚固的减振系统，非常适合工业生产环境

l XONOX X-fiz 100（4英寸）或X-fiz 130（5.2英寸）高性能斐索干涉仪，可电子控制光学变焦（1x至10x）、聚焦和对比度

l 创新、强大、用户友好的条纹分析系统X-fringe²，具有不同的智能和智能模式，可适应各种应用

l 从具有静态条纹分析的低成本“ST"版本到高性能“PS2"相移版本进行选择

选型指南

VT750 ST：配备XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），带10倍光学变焦和静态条纹分析系统XONOX“X-fringe ST"

VT750 PS2：配备XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），带10倍光学变焦，相移条纹分析系统XONOX“X-frige²"和压电移相器XONOX"X-phase PMR“

VT750 Z：带ZYGO Verifire 4“或6"干涉仪单元和Mx相移条纹分析

VT750 B：用于集成现有干涉仪单元的“tower only"版本。

可选功能与配件

可选配XONOX条纹分析系统X-fringe²ST或带X相PMR移相器的X-fridge²PS。

技术参数

产地：美国

行程范围：max.750mm（800mm线性刻度范围）

测试直径：max.200mm（取决于使用的TS和零件支架）

测量系统：带PC接口和温度扩展补偿功能的增量高精度线性测量系统（标准）/可选激光放电测量系统（可选）

测量精度：20°C时每500mm高达+/-0.7μm

分辨率：高达0.1µm（标准0.5µm）

尺寸（宽x深x高）：800 x 900 x 2100 mm

（如果使用PC进行条纹分析，则需要额外的空间，XONOX PC台可选）

连接：10-240V/50-60Hz

压缩空气：6bar

重量：约500kg

颜色：浅灰色RAL 7035