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当前位置：天津瑞利光电科技有限公司>> INTELLIDRIVES开放式 XY 旋转平台
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器材质 | 全木实验台 | 仪器结构 | 双面（中央）实验台 |
| 应用领域 | 电子/电池,电气 |
天津瑞利光电科技有限公司优势经销INTELLIDRIVES开放式 XY 旋转平台XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
产品型号：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
产品介绍
集成系统将线性或 XY 平台与转台相结合，提供交钥匙解决方案。 平台可配备直接驱动直线电机或基于滚珠丝杠的机械装置。
性能特点
开放式 XY 旋转平台设计用于半导体制造行业中的晶圆处理和许多其他自动化定位应用。 位于单元侧面的 XY 驱动机构和大型中心通孔转台提供了清晰通畅的晶圆访问。
技术参数
XY台：XY-OF-UL-200x200
旋转台：ACR-160UT
电机类型：无刷伺服电机/编码器（标准）
直线伺服电机（选件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔径：直径160 mm
分辨率（线性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋转）：1.4 arc-sec
重复性（线性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重复性（旋转）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
负载重量： 30 kg
载物台重量：16 kg
（注1）带线性编码器（可选）
（注2）直线伺服电机（可选）
（注 3）滚珠丝杠 10 mm 导程，无刷伺服驱动
天津瑞利光电科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之滨天津，地理位置得天独厚，交通运输便利，进出口贸易发达。凭借着欧洲的采购中心，我们始终为客户提供欧美工业技术、高新科技等发达国的光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备产品，同时拥有多个品牌的授权经销和代理权。
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