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极紫外平面反射镜通用规格：
| 产品编码 | Dia. (mm) | 表面平整度 (P-V) | 基底 |
| 38-759 | 25.40 ±0.25 | λ/10 @ 632.8nm | Single Crystal Silicon |
| 38-760 | 25.40 ±0.25 | λ/10 @ 632.8nm | Single Crystal Silicon |
极紫外平面反射镜是多层反射镜，在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上，表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束，而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.
注意: 附带每个反射镜运行样本的测试数据.
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