高真空隔膜泵是在真空值要求非常低（零点几毫巴）时的一种针对非腐蚀气体的持续的、无油抽气的解决方案。与所抽气体或蒸汽接触的所有部件均由铝、不锈钢和精心挑选的塑料制成，可广泛用于各种非腐蚀气体。高真空隔膜泵有排气安静、运行时振动超低、密封性优良及更好的真空度等性能。为了延长使用寿命，双层的隔膜采用氟橡胶材质，具有良好的柔韧性，并有织物增强层增加其强度。高真空隔膜泵的这类泵可以通过持续变化马达转速来自动调节真空度，优化过程条件。