微量气体分析仪返回列表页

举报评价

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号GA-360E

品牌

厂商性质代理商

所在地

在线询价加入对比查看联系电话

更新时间：2023-07-27 13:43:40浏览次数：1283次

联系我时，请告知来自化工仪器网

同类优质产品更多>

产品分类品牌分类

HORIBA（过程&环境）: 烟气分析系统大气污染成分分析过程分析 RoHS检测仪器油份分析仪水质测量分析光泽仪水处理及环境

全部产品列表

产品简介

应用领域环保,化工,石油,电子微量气体分析仪它是可以对用于半导体工艺的混合气体（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度（检测感度可至10ppb）连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。适于半导体气体制造设备的质量管理。

详情介绍

微量气体分析仪

产品性能

1分析仪可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度。

采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值。

不需要进行光学调整，维护性得到了提高。

由于搭载有流量（压力）异常、断路器（电磁阀）、失火报警（GA-360E）、电源断开的自我诊断功能，所以能够迅速地在发生异常时采取措施。

微量气体分析仪

产品技术规格

测量原理	GA-360E:交替流动调制方式非分散红外线分析法
GA-360E	交替流动调制方式火焰电离检验方法
检测对象气体	GA-360E:CO/CO2/CH4内可选取2种成分
检测量程	GA-360E:0〜1/2/5/10ppm