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【小丸子上新】单组分浓度计FUD-1 Model-13

时间:2025-2-26阅读:17
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【小丸子上新】我司近期推出热销产品单组分浓度计FUD-1 Model-13


该型号保留了FUD-1 Model-13的易于维护和高精度在线测量等优点,同时配备了可用于半导体制造过程的小型电池式变送器。


单组分浓度计特点

可实时测量浓度,轻松构建浓度控制系统

  • 模拟DC4-20mA和数字RS232C是标准设备。

  • 测量错误输出和警告输出为标准功能

  • 自我诊断功能和错误信息显示是标准功能

  • 小型轻便的蜂窝发射器可直接安装在线路上

  • 接触液体的部件采用 PFA,小输出设计意味着不会对化学品产生影响


优点

  • 可进行高精度连续测量

  • 免维护,无需定期调整或校准

  • 安装过程中无需调整,安装简便

  • 实时输出可轻松向流程提供反馈


用途

  • CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制

  • 稀释过程中各种化学品浓度的管理(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)

  • 清洗过程中的清洗液浓度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等)

  • 蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理(HF、H2SO4等)




规格

形式FUD-1 型号-13
测量参数超声波传播速度和温度
表示LCD(浓度、温度、声速/各种参数)
输出信号模拟DC4-20mA(可自由设定浓度值)
数字RS232C(浓度、温度、声速、错误代码)
报警 上/下限测量误差
电源AC100V 至 240V 50/60Hz(也可使用 DC24V)
结构面板安装型(符合 DIN 标准)/板内安装型(可选安装在防雨盒中)
环境温度0~50℃ RH85%以下(无结露)
0~100℃ 特殊规格 -10~160℃(100℃范围)
功能输出范围设定、报警输出设定、浓度显示移动平均值、浓度显示偏移和增益设定功能、自我诊断功能、故障安全功能、异常值取消
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
选项温度输出(DC4至20mA)
渠道最大10ch
兼容发射器型号-13  SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5


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