PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却,也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的,也可以是高温的,经过气体制冷机降至目标低温。针对于晶圆测试载冷台的应用来说,气体制冷机相比较于传统的液冷有诸多优势,如使用方便、安全卫生、成本低、无异味等。客户可根据气体处理流量及温度来选择设备。系统主要由制冷系统、换热系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,压缩机及主要制冷部件均采用国际品牌。换热系统包括高效换热器、连接管路、保温等组成。控制系统采用西门子PLC,自适应PID控制算法,面对不同的使用环境和负载,无需改变参数,即可实现最佳的温度控制。高清触摸屏显示,完善的安全保护措施,设置有多种安全保护机制以确保系统的安全运行。控制器物联网,可在手机APP上进行远程查看数据、报警信息和远程操控;可选配冷量回收装置,提升能效,避免低温冷凝水,通过机组自身的制冷,将进入装置内的干燥气体进行降温及恒温处理,满足工艺条件要求。