| 产地类别 |
国产 |
应用领域 |
环保,化工,能源,电子,综合 |
megatorr加热块003
在传统的真空压力控制中，由于工艺的多样化，压力控制范围趋于多样化，对低真空（高压）下压力控制的需求越来越大。由于工艺气体的多样化，阀门加热温度也要求更高。这种宽带阀就是为满足这一需求而开发的。
压力控制范围广：可控从101.33kPa（大气压）到10Pa以下（760Torr到70mTorr以下），最高可加热到200℃。
megatorr加热块003
megatorr加热块003
半導体製造装置成膜チャンバの消耗部品であるヒーターブロックは、今まで装置メーカに依存していましたが、真空と製造装置に精通し実績を残していますMegatorrが、高a（大气压）到10Pa以下（760Torr到70mTorr以下），最高可加热到200℃。概要従来の真空圧力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空（高圧）下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱温度も、同じくプロセスガスの多様化により、より温度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開発致しましたのがこの広帯域バルブです。特長 ・広い圧力制御範囲：101.3kPa（大気圧） ～ 10Pa以下(760Torr～70mTorr以下) ・弁体、バルブ本体（接ガス）部を200℃まで任意に加熱可能 ・温度不均一を発生させるベローズを使用せず独自構造のシャ概要このコントローラは広帯域バルブ／AW シリーズを制御する為に国内で開発された専用のコントローラ／ＡＰシリーズです。コントローラー本体は多機能を有しており各種プロセス条件に最適化が可能です。外部制御方式はアナログ／デジタル両方を標準装備しております。また、全面操作パネルからの設定も可能ですので操作が非常に容易です。主な機能 ・２個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター及びコントロールが可能 ・バルブのソフトスタート（スローバキューム） ・ランプコントロール（遅延コントロール）が可能 ・レンジの異なる２個のキャパシタンスマノメーターも接続
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