| 工作温度 |
其他 |
结构形式 |
其他 |
| 类型(通道位置) |
其他 |
零部件及配件 |
阀体 |
| 流动方向 |
其他 |
压力环境 |
其他 |
| 应用领域 |
环保,化工,能源,电子,综合 |
种类 |
其他 |
megatorr槽阀非热/自热
这是一种节流（蝶形）阀，通过改变阀体从0度到90度来控制真空压力。可实现高速响应、高再现性的各种真空容器（蚀刻/CVD设备等）的压力控制。通过与AP系列控制器/电容式压力计并用，可在半导体等工序中实现高速响应、高再现性的真空压力控制。
数据表
自热式槽阀（蝶阀）
megatorr槽阀非热/自热
megatorr槽阀非热/自热
迈拓专有的自热式槽阀是一种自热式，加热器夹在法兰之间，加热器嵌入阀体中。
它可以处理高达 200°C 的温度，具有出色的温度均匀性，防止沉积物，并大大提高了可维护性和生产率。
这是一种节流（蝶形）阀，通过改变阀体从0度到90度来控制真空压力。可实现高速响应、高再现性的各种真空容器（蚀刻/CVD设备等）的压力控制。通过与AP系列控制器/电容式压力计并用，可在半导体等工序中实现高速响应、高再现性的真空压力控制。
弁体部が0～90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブです。APシリーズコントローラ/キャパシタンスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて、高速応答、高再現性の真空圧力制御が得られます。• 対応フランジ ： JIS / ISO / KF(NW) / CF• 日本国内で開発製造 → お客様の装置設計に合うようカスタマイズも可能！• コントローラAP420（APシリーズ）はCE マーキング取得、RoHS指令対応自己加熱型スロットルバルブフランジにサンドイッチ状にヒータを挟み込み、また弁体にもヒータを埋め込む独自の設計の自己加熱型もオプションで有り。 （Patent #5,413,139）200℃まで対応また温度均一性に優れ、デポを抑止し大幅にメンテナンス性と生産性を向上いたします。
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