紫外臭氧清洗机利用紫外光的特定波长来破坏有机化合物的化学键。其中,185nm 波长的紫外光可将空气中的氧气变为臭氧,254nm 波长的紫外光可以破坏化合物中的键(尤其是碳碳键)。臭氧具有强氧化性,能与被活化的有机物分子发生氧化反应,将有机污染物分解成二氧化碳、水等挥发性气体逸出物体表面,从而清除粘附在物体表面的有机污染物。
应用对象方面:可用于清洗多种材料,如石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等无机基材,以及光学玻璃、半导体、集成电路等。对于这些材料表面的石蜡、松香、油脂、光刻胶、环氧树脂、焊剂等有机污染物,都有很好的清洗效果。