一、ACU20FD-LH 反应釜充气质量流量计及流量控制器 产品概述：

1、精度更高，响应更快，带网口；

2、管状分流，不易堵塞；

3、适用于各种低压和高压管道；

4、预热时间短，零漂小，可靠性高；

5、模拟量输入 / 输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量；

6、数字量 采用 RS232/485 MODBUS协议，可选协议还包括：Devicenet，Profibus，Ethercat等。

二、产品应用：

可适用于多种需要快速响应的气体应用，例如：可以满足反应釜充气流量测量及控制的快速响应需求等。

三、ACU20FD-LH 反应釜充气质量流量计及流量控制器 产品参数列举：

满量程范围：低量程：2SCCM～30SLM，中量程：30SLM~300SLM，大量程：300SLM~6000SLM

准 确  度：±0.5%F.S

线       性：±0.5%F.S

重复精度：±0.2%F.S

响应时间：流量计：＜0.1s ；流量控制器：<0.2s

数 字  量：RS232/485，MODBUS协议等

模 拟  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       电：±15VDC，24VDC

工作温度：0～60℃

工作压降：<0.01Mpa(流量计）

工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       压：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

温度系数：±0.025%F.S/℃

底座材质：不锈钢

密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等

接       头：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法兰、快插、宝塔等。。。

如果所需性能要求与上述性能不同，可以沟通定制。