电子行业超纯水系统 返回列表页

 电子行业超纯水系统

为了满足电子行业用水需求，根据光电材料，液晶显示屏生产，加工，清洗等所需使用超纯水标准，而设计并生产的一套超纯水设备。

　　超纯水设备设备出水符合标准

　　超纯水设备出水水质wan全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

　超纯水系统工艺流程

　　预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

　　应用领域

　　电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

　　电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

　　显像管和阴极射线管生产、配料用纯水

　　黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水

　　液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液

　　晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制

　　集成电路生产中高纯水清洗硅片

　　半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

　　LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏

　　高品质显像管、萤光粉生产

　　半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗

　　超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料

　　实验室和中试车间

　　汽车、家电表面抛光处理

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