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当前位置：阳明量子科技（深圳）有限公司>> D400/M400精密真空蒸发镀膜机
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 10万-30万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,电子 | 真空腔体 | 420×400×450mm |
| 精密膜厚探头 | 1套，内嵌式液晶显示屏实时显示膜厚和蒸镀速率 | 蒸发源 | 3组电阻式热蒸发源 |
| 真空泵 | 一级：机械泵一套，二级：扩散泵一套 | 真空规 | 电阻规一套，电离规一套，数字显示 |
| 内嵌液晶触摸屏 | 数字控制真空泵开关，各路真空阀门开关，蒸发源工作电流等参数 | 冷却水循环机 | 一套，风冷，无外接水源 |
| 样品托盘 | 可旋转，转速0~100rpm可调?内尺寸102*100*5m | 掩膜板区域 | 97±3*100mm蒸发镀膜区92*100mm |
| 蒸发源挡板? | 可真空状态操作，Φ70mm | 外部尺寸? | 长840*宽478*高1514mm?主机底部配4滚轮 |
| 工作电源 | 220V，?50/60Hz | 工作环境 | 0~50℃ |
| 总功率 | 1500W | 总重量 | 270KG |
本产品适用于高等院校、科研单位、研究所和*企业进行各种材料表面精密镀膜的研发，试样和小批量重复性制备。
一.集成度高：整套设备集成一级，二级真空泵，冷却水循环，内嵌一体化彩色触摸屏,触摸控制不同真空泵阀门的通断，不同蒸发舟的电流大小。节省实验室空间。
二.实时监控：腔内配有自主研发的精密压电陶瓷膜厚探头，实时监控镀膜表面的膜厚，检测精度可达1埃/秒（0.1nm/s)
三.多源蒸镀：配有三组蒸发源，蒸发隔板，支持在真空中切换蒸发源，实现不同蒸发源多层蒸镀；支持钼，钨蒸发舟。
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