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| 应用领域 | 化工,地矿,道路/轨道/船舶,制药/生物制药,综合 |
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在半导体和液晶面板制造过程中，真空吸盘和机械吸盘系统通常用于固定基板以进行处理。然而，由于吸附、变形的影响以及对提高可靠性的要求，利用静电力的卡盘已被广泛采用在当今一代半晶圆设备中以克服这些限制。原装spellman静电卡盘 夹具
静电吸盘由带有表面电极的压盘组成，这些电极被高压偏置以在压盘和晶片之间建立静电力。
静电卡盘有2种类型：Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (J-R) 类型。它们的区别在于它们的介电特性，因此为产生夹紧力的方式。Coulomb卡盘的功能类似于传统的介电电容器。原装spellman静电卡盘 夹具
J-R 型电阻大但有限，因此当表面紧密接触并施加电压时，电流会流过它和基板。 电荷积聚在基板和电介质之间的界面，提供夹持力。
此外，夹头上电极（或极点）的不同配置用于获得不同的特性。 可根据应用提供单极、双极（两极）和多极卡盘（包括 6 相六极类型）。
Spellman 可为全系列电子卡盘提供电源，其功能包括：
高压双极输出（正/负），
输出极性反转功能，使晶圆夹持/脱夹持更容易，127 / 5000
通过电容测量（Coulomb卡盘）或电流测量（J-R 卡盘）检测晶片状态的能力，
模拟和数字接口，可轻松集成到各种系统中，
高可靠性，机械继电器自由设计。
斯派曼提供广泛的设计知识和制造能力，因此可以提供广泛的定制产品以满足各种要求。根据应用，这可能还包括诸如高压偏置/偏移和 R.F. 过滤
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