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美国API XD激光干涉仪
美国API激光干涉仪XD Laser的技术参数:
1.API激光干涉仪1D激光主要可以测量定位误差
2.API激光干涉仪3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
3.API激光干涉仪5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
4.API激光干涉仪5D/6D标准型
美国API激光干涉仪5D/6D技术参数:
1) 线性:0.5ppm .
2) 测量范围:40米(1D可选80米)
3) 线性分辨力:0.001um.
4) 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5) 范围:800角秒
6) 滚动角精度:1.0角秒
7) 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8) 直线度范围:500um
9) 垂直度精度:1角秒
10) 温度精度:0.2摄氏度
11) 湿度精度:5%
12) 压力精度:1mmHg
激光干涉仪XD Laser的特点:
1.同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3.可选的无线遥控传感器的控制距离可到25米
4.可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。
5.全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6.集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
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