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美国API一维激光干涉仪
美国API一维激光干涉仪
API XD Laser激光干涉仪的测试方法:
API激光干涉仪直线度测量
— 应用先进的PSD技术:光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)
— 不怕断光,可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
— 对直线度进行1:1的测量
— 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速
API激光干涉仪垂直度测量
— API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的,所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可,
— 无需其他镜组装/调非常方便快速
— 在测两轴的垂直度的同时,两轴各自的线性定位误差、直线度,偏摆角、俯仰角都可一次测出,
— 大大节省了测量所占用机床的时间,也可避免人为差错。
API激光干涉仪偏摆角/俯仰角测量
— 先进的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后,如果轴无角度变化,则光线经透镜聚在焦点上;
— 如果轴有角度变化,则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值,从而与焦距比较得出角度值。
— 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试。不受滚动角的影响,调整光路容易 。
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