GB/T 4937.18-2018/IEC 60749-18:2002半导体器件 机械和气候试验方法第18部分∶电离辐射（总剂量）
1 范围
GB/T4937的本部分对已封装的半导体集成电路和半导体分立器件进行"Co Y射线源电离辐射总剂量试验提供了一种试验程序。
本部分提供了评估低剂量率电离辐射对器件作用的加速退火试验方法。这种退火试验对低剂量率辐射或者器件在某些应用情况下表现出时变效应的应用情形是比较重要的。
本部分仅适用于稳态辐照，并不适用于脉冲型辐照。本部分主要针对军事或空间相关的应用。
本试验可能会导致辐照器件的电性能产生严重退化，因而被认为是破坏性试验。
3 试验设备
设备应包括辐射源、电参数测试装置、试验电路板、电缆、接线板或开关系统、合适的剂量测定系统
和环境试验箱（若需要进行时变效应测试）。应采取适当的预防措施以确保电测试系统具有足够的绝缘、完好的屏蔽、良好的接地以及适当低的噪声特性。
3.1 辐射源
试验中采用的辐射源应是能够提供均匀辐射场的“Co Y射线源。除另有规定外，在器件辐照范围内，利用剂量测定系统测得的辐射场的不均匀性应在±10%以内。“Co源的γ射线场强不确定度应不大于5%。器件与辐射源间位置的变化以及辐射吸收和散射材料的存在都会对辐射场的均匀性和强度产生影响。
3.2 剂量测定系统
应提供合适的剂量测定方法以完成4.3要求的测量。
3.3 电学测试仪器
电学测量使用的全部测量装置应具有准确测试电参数所需要的稳定性、精确度和分辨力。任何需要工作于辐射环境中的测试仪器都应予以屏蔽。
3.4 试验电路板
待辐照器件应与辐射期间器件偏置所需的或辐射中测量所需的相关电路一起，安装在试验电路板上或与电路板相连。除另有规定外，辐射期间器件引出端和任何其他可能会影响器件辐射响应的端口都应进行电连接处理，即端口不得浮空。
整个试验电路板的几何形状和所采用的材料应确保器件得到均匀辐照。应采用良好的设计和结构以防止电路振荡，将漏电流降至最zui低，防止电损伤，以获得准确的测量结果。只有能抗辐射的且相对待测器件无显著漏电的插座才允许用来将器件和相关电路与试验板连接在一起。
辐射场中所有反复使用的设备均应定期检查其物理和电性能的退化。除了受试器件外，试验电路板上的其他元器件应对累积辐射不敏感，否则应对它们进行屏蔽，以防止辐射对其产生损伤。试验夹具所采用的材料应对受试器件所处的辐射场强度均匀性不产生干扰。
应在辐射场外测量夹具的漏电流。插座中不安装器件，将试验电路板与试验系统连接在一起，使所有可能起作用的噪声和干扰源处于工作状态，施加器件试验时的最大偏置条件，任意两个引出端之间的漏电流都应不超过辐射前器件规范中电流最小极限值的10%。
加速退火试验中对器件施加偏置的试验电路板应能够经受加速退火试验中的温度要求，并在试验前和试验后均应检查其物理和电学性能的变化情况。
3.5 电缆
在辐射场中，连接试验电路板和试验装置的电缆应尽可能地短。如果必须使用长电缆，可能需要采用电缆驱动器。电缆对地应具有小的电容和漏电流，导线之间也应具有较小的漏电流。
3.6 互连或开关系统
该系统在测试设备与受试器件之间提供接口，是整个试验系统的一部分，应放置于辐射环境场地的外部，且符合3.4中关于插座端口漏电流的规定。
3.7 环境试验箱
环境试验箱主要是用于时变效应试验。除另有规定外，应能够将特定的加速退火温度变化维持在士5℃内。
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