GB/T 31854-2015光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

警告——使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1  范围

本标准规定了利用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质含量的方法。

本标准适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定。各元素的测量范围见表1。

3  方法提要

将试样用硝酸和氢氟酸的混合物溶解，加热使溶液蒸干，溶液中的硅以SiF，的形式挥发。然后用硝酸溶液溶解残渣，用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定溶液中待分析金属元素的含量。

6  仪器和设备

本方法需要下列仪器和设备

a） 电感耦合等离子体质谱仪

b） 分析天平∶感量为0.1mg

c） 通风橱

d） 器皿∶所用器皿应由聚四氟乙烯（PTFE）或全氟烷氧基树脂（PFA）等耐氢氟酸腐蚀并可清洗的材料制成

e） 电热板。

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