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日本RORZE乐兹驱动器介绍：  

远为国际贸易（无锡）有限公司常备日本乐兹驱动器大量型号现货。  

RORZE是在日本东证一部上市并从事半导体晶圆传输36年经验的公司，中文名乐孜。专门从事各种对使用环境要求严苛的高精密运动控制机器的制造、销售、研发。  

公司总部RORZECORPORATION自1985年成立以来一直专注于晶圆传输机器人及相关自动传输用的组件和大型自动传输设备的研发、制造和销售业务。掌握晶圆传输所需要的robot，loadport及Aligner这些组件从软件到硬件的核心技术。公司创始人崎谷文雄先生发明一款洁净传输机器人，自此大大提升了芯片制造过程的良率，由此RORZE的产品在业界得到广泛的好评。目前RORZE产品大量应用在业界的3nm制程的产线上。项目主要产品：晶圆自动传输设备，该设备广泛应用于集成电路生产线上用于晶圆的自动传输，根据具体应用，可单独使用，亦可跟工厂自动化对接实现晶圆的上下料自动传输，还可跟刻蚀，CVD，PVD,光刻，检测等各种制程设备搭载使用。  

日本RORZE乐兹驱动器销售型号：  

RD-153A  

RM2B4233-18S  

RC234  

RD-023MS  

RD-153→RD-153A  

RC-400  

RC-420  

RD-023  

RD-023MS  

RD-023MSA  

RD-021M8  

RM5685D  

RM2690S  

RC234  

RD-053MS  

RD-023MS  

RC002C  

RC-208A  

RM5A6085-30D  

RM2B4239-16D  

RD-153A  

RD-026MSA  

RD-053A  

RD-026MB  

RD-123A  

RD-029MS  

RD-024MB  

RD-023MS  

RD-053MS  

RD-053A  

RD-053A  

RD-353  

RD-053MS  

RD-323MS  

RD-323  

RD-023MS  

RD-053MS  

RD-023MS  

RD-153A  

RD-053A  

RM5A8692-30D  

RC-231HA升级为RC-234  

RM2B4233-18S  

RD-023MB升级为RD-024MB  

RD-023RD-023MSRD-023MSA  

RD-153升级为RD-153A  

RD-053MSRD-023MSRD-153ARD-053A  

RD-153,RD-353A,RD-023A,RD-023  

RD-053MSRD-023MSRD-153ARD-053A  

RM59B2D→RM5A8692-30D  

RD-02CMSHRD-024MB  

RD-023MB（RD-024MB）  

RD-023RD-023MSRD-023MSARD-021M8  

作为一个提取式气体取样系统，MIDAS气体探测器能在本地或从一个远程点提取一个样品到位于探测器机  

架内的传感器盒。可以提供较广范围的毒气、可燃气体和氧气传感器盒，以便实现半导体和其他生产工业  

中使用或产生的气体探测。  

MIDAS是用于墙面安装的，能够通过自身背光LCD和LED显示气体浓度、报警、故障信息。位于显示屏  

下方的简便易用的4按钮键盘为设置，浏览，操作和更改探测器配置提供了便利。  

MIDAS标配有内置的灵活电源和通讯能力。其中包括3个插件继电器、0-22mA模拟输出装置、Modbus/TCP、信号和服务连接输出装置以及革新的以太网供电（PoE）协议，该协议实现了所有电源控制和通讯要求的单一以太网连接。MIDAS®气体探测器由四部分构成：主机架、安装托架底座、传感器盒和机壳。图1显示了MIDAS®的总配置图。另外，还有一个用于NF3探测的可选热解器模块和用于连接外部4-20mA装置的可选模拟模块。泵模块位于主机架的背面。它通过（连接到位于主机架的前面的传感器暗盒腔）在线过滤器从进气口（位 于安装托架总成底部）吸入气体样品。然后气体样品通过位于安装托架总成底部的排气口被排出。泵和过滤器总成的设计应本着便于替换的原则传感器暗盒腔位于显示屏模块下方的主机架前方的位置。插入式传感器盒就安装于该区域，实现了传感器盒和其他电子部件的电连接，同时供给暗盒腔（传感器盒暴露的区域）样品气体。传感器盒安装的详细内容安装托架总成包括探测器安装托架、终端模块、气体样品进气口和出气口、电缆/电线引入装置和以太网通讯插座。金属安装托架具有两个沟槽，可以使用两个合适的定位螺丝轻易地将探测器安装到墙面上。关于探测器安装的详细信息终端模块位于安装托架上。所有到MIDAS®的电连接都是通过该模块实现的。到终端模块区域的线接入是通过位于安装托架总成底部的PG16电缆/电线引入装置完成的。可以将各式各样的毒气、可燃气体或氧气传感器盒安装到MIDAS®上。插入式传感器盒位于主机架前方的传感器暗盒腔内。要进入该腔内，可通过旋开位于探测器前方的翼形螺钉移除机壳即可。如同无需任何工具就可以轻易插入探测器内一样，可以轻易地安装或替换预校准只能传感器盒。某些传感器盒出厂时配有一个电池动力电源，旨在保持电池有效地“预热"并在安装入MIDAS®仪器中时随时进行监测。偏压电池供应用于TEOS、NO和O3。偏置电路在插入MIDAS®系统前被移除，因而传感器盒可随时用于有效的气体探测。  

如果未使用偏电压（例如，电源故障期间），那么在开始有效的气体探测前，电池将需要较长的时间恢复。  

外加电源损失的时间越长，恢复时间就越长。关于每个传感器盒的信息，请参考相关的传感器盒数据表。  

为了避免由于不可预见电源损失带来的气体探测损失风险，我们建议使用电源管理解决方案，例如：不间断电源、电池备援，等等。  

备注：如果传感器盒由未授权人员打开，那么传感器报修单将无效机壳能提供环境保护功能并安装于主机架的顶端、前部和侧面。前面板具有用于LCD、LED和传感器盒 （安装在传感器暗盒腔内）的浏览窗口。LCD窗口下是4个按钮，可用于操作探测器软件菜单。可以很容易地移除机壳从而进入机架，只需旋开前面板上的翼形螺钉并向前推机壳，直至脱离主机架即可。便于安装起见，MIDAS®的设计允许安装托架总成和终端模块独立于探测器的其他零部件。因此，可以在安装探测器主机架和传感器盒前完成探测器的定位和硬布线。MIDAS®是设计用于室内安全区域无爆炸大气中进行安装和使用的。所进行的安装必须符合相关国家的相关机构的标准。执行任何安装之前，确保遵守当地法规和驻地规程。在安装MIDAS®气体探测器时，下面是一些应考虑的因素：  

1.将探测器安装在适于其面积和重量的水平且坚固的表面上。  

2.使用提供的钻孔模板钻孔用于固定接头。  

3.使用适于所选表面安装的固定接头。  

4.确保固定接头的头围不会妨碍终端PCB。  

5.考虑电线/电缆的重要和其安装应力。  

6.定位该探测器以便可以轻易访问。  

7.定位该探测器以便其处于可清晰查看显示器的合适的高度（正常情况下到眼睛的高度）。  

8.考虑移除探测器机壳和锁定/解锁传感器盒锁箍所需的空间。  

9.考虑样品进口和排气管道（远程监测）和进口过滤器（本地监测）所需的空间。  

10.考虑电缆或电线接入所需的空间。  

下列步骤和图示讲述了如何将安装托架总成从主机架上分离并将其安装到垂直平面上。  

1.旋开位于前面板上的翼形螺钉。  

2.将机壳向前推直至脱离主机架，以此来移除机壳。  

3.旋开位于机架底部前侧的固定螺钉。  

4.使用一只手固定住安装托架总成，使用另一支手小心向前推主机架，直到从安装托架总成上断连为止。  

5.使用提供的钻孔模板钻两个垂直分开的58.50mm的孔，用于2x圆头M4固定螺钉。  

6.部分地将固定接头旋入安装面。  

7.将安装托架总成置于螺钉上方，以便它们通过该安装孔，然后滑下定位在槽中。  

8.旋紧螺钉，固定安装托架总成。  

MIDAS®气体探测器也可用于监测位于探测器位置的气体。可以将一个在线过滤器连接到传感器盒进气口  

便能轻易实现该功能。部件编号为780248的外部滤尘器可用于正常气体，部件编号为1830-0055的可用  

于腐蚀性气体。然后，便开始监测探测器周围的区域，这与从远程位置吸取的样品相反。  

电线到终端模块的接入是通过位于安装托架总成底部的PG16电缆夹套实现的。如果需要，可以移除电缆夹套并使用合适的导管配件进行替换 所用的终端适用于24到14AWG（直径0.5到1.8mm）的导体。我们建议使用16AWG(直径1.5mm) 的导体。  

备注：当使用以太网加电（PoE）通电时，3个插件式继电器不需要独立的24VDC上电。  

当使用以太网加电（PoE）为装置通电时，禁止将24VDC电源连接到装置上，（或相反地，如果使用24VDC给MIDAS®供电，那么禁止通过以太网端口供电。）如果不遵守该要求，则可能给气体探测系统带来损害，也因此不会在标准保修单保修范围内。  

当连接线路时，务必确保电源开关处于关闭位置。  

图11显示了终端模块示意图和终端标识以及跳线的位置。诊断LED灯被置于内部主机架中，便于浏览。  

这些显示出以太网通讯处于活跃状态。在MIDAS®的某些版本中，后端安装的以太网加电端口具有两盏LED状态指示灯；请注意：这些是不能利用的，切勿点亮。  

如果MIDAS®仪器主机架没有直接连接到金属表面进行接地，则需要一条附加的地线。通过PG16电缆夹套将线连接到位于底部托架上的专用接地牌（螺丝接线端），并将线的另一端连到专用外接地点。  

如果使用以太网加电（PoE）电源，那么我们推荐使用屏蔽CAT5以太网电缆。  

请确保您的布线要避免接地环路，否则可能影响您设备的性能。  

MIDAS®的加电方式有两种：通过传统的分立连线的24VDC；来自PoE通过以太网电缆传输的大约48 VDC。4-20mA模拟输出装置可用于上述任何一种情形。这可以被配置用于汇、源或绝缘操作。下面是一些典型电连接配置原理图。

可以按照下列步骤对主机架进行改装，使其适合安装托架总成。  

1.将位于主机架顶端后部的PCB和位于安装托架总成顶端的连接器对齐。  

2.在进行上一步的同时，将位于主机架顶端后部的两个管和位于安装托架总成底部的两个管对齐。  

3.将机架向后滑向安装托架总成，以便PCB、连接器和管同时啮合。（见下图）  

4.将主机架水平向后推向安装托架总成，确保PCB、连接器和啮合。  

(警告：不要开启LCD，否则，可能会导致损坏)。  

5.将位于机架底部的两个固定螺钉和安装托架总成上的螺纹对齐。  

6.旋紧螺钉，以便将机架固定到安装托架总成上。  

MIDAS®传感器盒是单独供应的，需要安装到探测器的主机架上。下面的步骤和图示详细描述了安装传感器盒的程序。执行该程序时，应关闭电源，移除探测器机壳。  

1.拆包，取出传感器盒  

2.检查传感器盒的零部件编号和型号是否正确  

3.通过日期检查触发  

4.将位于传感器顶端的销钉和传感器暗盒腔中的插座对齐  

5.小心将传感器盒推入传感器暗盒腔直到吻合  

6.使用传感器盒的任何一边的定位片将传感器盒锁定到位，从而将传感器盒锁定到主机架上  

7.将位于终端模块上的电源开关切换到“开"位置  

8.将任何一边的槽和安装托架总成上的定位片对其，重装探测器机壳

9.水平推机壳，直至吻合  

10.旋紧位于前面板上的翼形螺钉  

警告：

执行任何作业前，确保遵守本地和现场程序。确保相关的控制面板处于禁止状态，以便防止错误报警。  

认真遵守下列程序，正确培训过的人员才能执行该程序。  

1.确保探测器按照第5.6和5.7部分正确布线。  

2.确保安装正确的传感器盒。（如果传感器盒未以室温存储，则首先拿出一个小时进行（温度）平衡）。  

3.确保安装托架总成上的开/关开关处于“开"位置。  

4.为系统供电。  

5.启动程序之后，探测器将显示正常的操作模式，如第7部分所示。  

6.如果使用一个多气体传感器盒，请参考第8.2.2部分，确保选择正确的气体标识码。  

7.将传感器稳定后，使用下表以确定最大的传感器盒预热时间。  

等待气体的读数恢复至正常的级别。这可能会耗费一些时间，尤其是当使用了高于推荐级别的浓度或者测试的气体的使用时间延长了。  

确保所有在测试中产生的任何锁存的故障或报警都已经清除。  

确认气体探测系统已经恢复至正常操作状态并且在测试中使用过的任何控制系统的优先级都已经被撤销。  

测试产生的报警将记录在发送器的历史日志里面。  

解决问题：  

如果测试结果并非令人满意，则请检查以下几点：  

1.检查气体钢瓶上的浓度及类型是否正确。  

2.检查钢瓶的截止日期。  

3.检查钢瓶中余下的气体是否足够。  

4.检查测试系统是否有泄漏。  

5.检查管道的长度是否足够短并且内部是否有堵塞。  

6.确认在测试开始之前发送器并没有显示故障。  

19保证声明。  

所有的产品都由ZellwegerAnalytics在由*的质量管理系统下根据新的的国际认可的标准设  

计并生产。  

据此，我们从仪器开始运转的第一天起的24个月内向原始终端用户买方保证该仪器（包括泵）在恰当的使用情况下的原料及使用的质量。对于传感器盒的单独质保使用限制如下。在此期间内，ZellwegerAnalytics会根据交换原则对不合格的部件进行维修或更换，F.O.B.到许可的*维修中心。  

本质保不适用于因事故、滥用、非正常操作状况或传感器盒的毒化所造成的损坏。  

有缺陷的货物必须由买方自费退还给ZellwegerAnalytics并附上详细的缺陷性质陈述报告。买方必须在归还的货物的包装上清楚详细地写上维修事件码（SE#），并且维修事件码（SE#）应该由买方事先联系ZellwegerAnalytics而取得。  

如果没有该报告则ZellwegerAnalytics将在进行任何修理或更换之前保留收取检查费的权利（价格根据要求而定）。  

ZellwegerAnalytics不对在无论任何情况下或以任何形式可能由买方或任何一方因直接或间接使用或操作合同货物而造成的任何损失或损坏负任何法律责任。  

本质保只适用于由经过授权的经销商、销售商及由ZellwegerAnalytics的代表卖给买方的气体探测器及部件。质保的要求只有在提交了购买证明并且所有状况都符合本质报才能接受。按照ZellwegerAnalytics的观点，当质保要求有效时，ZellwegerAnalytics将会免费修理或更换有缺陷的产品并将该产品或任何更换品寄回。  

初始保修期不会由于其中执行的任何工作而被延长。  

修理部件或更换部件应该由ZellwegerAnalytics决定。  

作为一个提取式气体取样系统，MIDAS气体探测器能在本地或从一个远程点提取一个样品到位于探测器机架内的传感器盒。可以提供较广范围的毒气、可燃气体和氧气传感器盒，以便实现半导体和其他生产工业中使用或产生的气体探测。  

MIDAS是用于墙面安装的，能够通过自身背光LCD和LED显示气体浓度、报警、故障信息。位于显示屏下方的简便易用的4按钮键盘为设置，浏览，操作和更改探测器配置提供了便利。  

MIDAS标配有内置的灵活电源和通讯能力。其中包括3个插件继电器、0-22mA模拟输出装置、Modbus/TCP、信号和服务连接输出装置以及革新的以太网供电（PoE）协议，该协议实现了所有电源、控制和通讯要求的单一以太网连接。  

MIDAS®气体探测器由四部分构成：主机架，传感器盒和机壳。显示了MIDAS®的总配置图。另外，还有一个用于NF3探测的可选热解器模块和用于连接外部4-20mA装置的可选模拟模块。泵模块位于主机架的背面。它通过（连接到位于主机架的前面的传感器暗盒腔）在线过滤器从进气口（位于安装托架总成底部）吸入气体样品。然后气体样品通过位于安装托架总成底部的排气口被排出。泵和过滤器总成的设计应本着便于替换的原则。传感器暗盒腔位于显示屏模块下方的主机架前方的位置。插入式传感器盒就安装于该区域，实现了传感器盒和其他电子部件的电连接，同时供给暗盒腔（传感器盒暴露的区域）样品气体。安装托架总成包括探测器安装托架、终端模块、气体样品进气口和出气口、电缆/电线引入装置和以太网通讯插座终端模块位于安装托架上。所有到MIDAS®的电连接都是通过该模块实现的。到终端模块区域的线接入是通过位于安装托架总成底部的PG16电缆/电线引入装置完成的。可以将各式各样的毒气、可燃气体或氧气传感器盒安装到MIDAS®上。插入式传感器盒位于主机架前方的传感器暗盒腔内。要进入该腔内，可通过旋开位于探测器前方的翼形螺钉移除机壳即可。如同无需任何工具就可以轻易插入探测器内一样，可以轻易地安装或替换预校准只能传感器盒。某些传感器盒出厂时配有一个电池动力电源，旨在保持电池有效地“预热"并在安装入MIDAS®仪器中时随时进行监测。偏压电池供应用于TEOS、NO和O3。偏置电路在插入MIDAS®系统前被移除，因而传感器盒可随时用于有效的气体探测。如果未使用偏电压（例如，电源故障期间），那么在开始有效的气体探测前，电池将需要较长的时间恢复。外加电源损失的时间越长，恢复时间就越长。关于每个传感器盒的信息，请参考相关的传感器盒数据表。为了避免由于不可预见电源损失带来的气体探测损失风险，我们建议使用电源管理解决方案，例如：不间断电源、电池备援，等等。备注：如果传感器盒由未授权人员打开，那么传感器报修单将无效。机壳能提供环境保护功能并安装于主机架的顶端、前部和侧面。前面板具有用于LCD、LED和传感器盒（安装在传感器暗盒腔内）的浏览窗口。LCD窗口下是4个按钮，可用于操作探测器软件菜单。可以很容易地移除机壳从而进入机架，只需旋开前面板上的翼形螺钉并向前推机壳，直至脱离主机架即可。作为标准件，MIDAS®气体探测器是工厂预先配置的，具体如下：表1.MIDAS®默认配置。