超高分辨场发射扫描电子显微镜

Regulus系列超高分辨场发射扫描电子显微镜现有机型SUB240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、 Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性触，配备SU8200系列的低喝音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分析车提高到0.9 nm,Regulus8100的分析车提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍事也从过去的100万倍提升到200万倍*1,Regulus8240/82 30/8220/8100还完善了用户支持功船，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。仅限Regulus8240/8230/8220。

Regulus系列超高分辨场发射扫描电子显微镜特点：

沿用"SU8200系列”的冷场发射电子枪*2

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观索的区间，使得低加速电压条件下业备高分析观察和分析的最佳性能与现有机型相比分解车提高了20%左右

(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV. Regulus8100; 1.1 nm/1 kV采用污染小，高真空样品仓运用能量过滤器(选配)，可观索到多种成分对比度*2