您好, 欢迎来到化工仪器网
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 环保,生物产业,农业,地矿,电子 |
|---|---|---|---|
| 电阻率： | 10-5～105 Ω.cm(可扩展)； |
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
产品分类品牌分类
-
氧化还原电位（ORP）温度测定仪 液位计 流量计 比色器 人剂量报警仪 浓度仪 二氧化氯测试仪 臭氧测试仪 水分速测仪 取土钻 气压表 水质透明度盘 采泥器 纯水蒸馏器 抽滤装置 水质硫化物-酸化吹气仪 酸度 碱度测定仪 有机类测定仪 无机盐测定仪 溶氧仪 重金属检测仪 锰离子检测仪 CODMn测定仪 氮吹仪 二氧化硅检测仪 余氯检测仪 碳酸氢根检测仪 COD消解器 菌落计数器 水中臭氧检测仪 水质取样器 ATP检测仪 农村饮水安全检测仪 水产养殖测定仪 BOD检测仪 总磷检测仪 氨氮测定仪 COD检测仪 水质硬度检测仪 PH/ORP检测仪 细菌过滤器 便携式色度测定仪 电导率分析仪 PH计 浊度计 水质色度仪 水质尿素测定仪
产品简介
详细介绍
RTS-8数字式四探针测试仪
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
RTS-8数字式四探针测试仪技 术 指 标 ：
测量范围 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105 s/cm；
电阻：10-5～105 Ω；
可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
测试模式 可连接电脑测试也可不连接电脑测试
软件功能（选配） 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。
标准使用环境 温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射；
配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头