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MF4000系列气体流量传感器是广州海伦仪器仪表有限公司采用世界*的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
MF4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围zui大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
MF4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围zui大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出 线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
性能参数 | MF4003 | MF4008 | 单位 |
通 径 | 3 | 8 | mm |
zui大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重复性 | 0.25 | % | |
零点输出飘移 | ±30 | mV | |
输出飘移 | ±0.12 | %/℃ | |
响应时间 | 10（默认，20，50，100，200，500，1000可设置） | ||
工作电源 | 8 ~ 18Vdc,50mA | ||
输出方式 | RS485，RS232，模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
显示方式 | 4位7段LED数码管显示，2个指示灯 | ||
指示单位 | 瞬时流量：SLMP;累计流量：SL | ||
显示分辨率 | 0.001,0.01,0.1可设置 | 0.01,0.1可设置 | SLPM |
zui大流量压损 | 100 | 600 | Pa |
zui大工作压力 | 0.5 | MPa | |
工作温度 | -10 ~ +55 | ℃ | |
存储温度 | -20 ~ +65 | ℃ | |
工作湿度 | <95（无结冰、无凝露） | %RH | |
机械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 | ||
键盘 | 三个按键 | ||
引出线 | 5针插口，配0.5m电缆 | ||
标准校准气体 | 空气（或其他气体），20°C，101.325kPa | ||
重量 | 57（带R1/4,） 76(带4mm，8mm快速接口，73（带6mm快速接头)
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