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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 生物产业,能源,冶金,烟草,电气 |
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臭氧传输系统ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求最高的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合wan全，操作简单，能够方便的与绝大多数半导体机台联动，插入即可使用。该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。该臭氧输送系统包括多通道臭氧泄露探测器和带排气系统的外壳。全部的气体管线都有双重保险。
臭氧传输系统规格
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