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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工 |
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当平行光穿过光栅时，以特定的间隔形成明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时，入射光被调制：在狭缝对齐时，光线通过。如果一个光栅的刻线与另一个光栅的狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些光强变化转化成电信号。特殊结构的扫描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的间距越小，公差越严。对
产品简介
详细介绍
敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺
干涉扫描原理 干涉扫描原理是利用精细光栅的光衍射和 光干涉生成位移测量的信号。
阶梯光栅作为测量基准：在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光线。其前方是扫描掩 膜，其栅距与光栅尺的栅距相同，是透射 相位光栅。
光波穿过扫描掩膜时，将光波衍射为光强 近似的三束光：+1、0和-1。在被光栅尺 衍射的光波中，在反射的衍射光中，光强 很强的光束为+1和-1。这两束光在扫描掩 膜的相位光栅处再次相遇，再一次被衍射 和干涉。也形成三束光，并以不同的角度 离开扫描掩膜。光电池将这些交变的光强 转化成电信号。、 当光栅与扫描掩膜之间有相对运动时，衍 射波面产生相位移：移过一个栅距时将正 一级衍射波面在正方向上偏移一个光波波 长，而负一级衍射光波面在负方向上偏移 一个光波波长。由于这两束光离开相位光 栅时相互发生干涉，这两束光彼此相对位 移两个光波波长。也就是说，相对运动一 个栅距可以得到两个信号周期。
干涉光栅尺的栅距较小，例如8 µm、4 µm甚至更小。其扫描信号基本没有高次 谐波，能进行高倍频细分。因此，这些光 栅尺特别适用于小测量步距和高精度应 用。当然都满足实用的安装公差要求。
LIP、LIF和PP直线光栅尺采用干涉扫描 原理。
敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺LIP 382 超高精度增量式直线光栅尺
• 测量步距 < 1 nm
• 测量基准用螺栓固定
