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无尘室分类：

1.乱流式

空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制

程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

2. 层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

⑵垂直层流式：房间天花板*以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

3. 复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘室设计方案注意事项：

1.无尘车间设计内容有合理布置工艺流程和建筑平面；

2. 选择满足无尘车间特点的建筑构造和材料；

3. 无尘车间设计应依据当时当地的能源供应背景，选定可靠和经济的冷、热源；

4. 划分和布置空调净化和排风系统；

5. 选择合理的空气净化通风设备； 无论是新建还是重新改造的无尘车间，都一定依照国家相关标准、规范进行。六安无尘室净化装修

无尘室设计时应考虑的几个特性：  

耐久性：  

  无尘车间要有符合环境、无尘车间内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘车间等级来建造。半导体倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。  

清洗：   

在制药和生物工学工业，无尘车间的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在市场，清洗真正地是一个重要的企业。 

适应性：  

 一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致大的损失。拥有者和设计者的能力为改变的关键，所以他们从不将初的设计定型。

维护性：

对无尘车间而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中重要的为天花板，其包含HEPA及ULPA等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人说：若建造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步，其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须准确，无尘洁净室的风管系统要保证密封性, 严格检测风管泄漏, 定期进行漏光测试或漏风测试, 监测法兰或螺纹密闭性, 必要时进行焊接或密封胶处理。

无尘室的构成：

一般情况下，无尘室是指生产和检验所需的工作环境，对于生产环节，应包括与生产产品工艺流程相对应的功能间，如注塑间、干燥间等；对于检验环节，应包括与检验有关的功能间，如阳性对照间、无菌检验间和微生物限度间等；为生产服务的辅助功能间，如洗衣间、洁具间等以及连接各功能间的缓冲过渡通道。

无尘的气流组织形式是实现洁净环境的重要保证措施。一般气流组织形式有非层流方式或层流方式两种。用高度净化的空气把车间内产生的粉尘稀释，叫做非层流方式（乱流方式）。用高度净化的气流作为载体，把粉尘排出，叫做层流方式。层流方式有垂直层流和水平层流两种。从房顶方向吹入清洁空气通过地平面排出叫垂直层流式，从侧壁方向刮入清洁空气，从对面侧壁排出叫水平层流式。乱流方式由于换气次数的变化洁净度也随之变化。

无尘室的气流应满足洁净度和人体健康的要求，如关键工作操作点应位于洁净空气流的上风侧，对散发有害物质的工作点，人的头部应避免在其空气流正对的下风侧。应使无尘车间气流流向单一。非单向流洁净室（区）内设置操作台时，其位置应远离回风口。产品也不应摆放在回风口附近，因为回风口处的洁净度比较差。回风口应均匀布置在洁净室（区）的下部，高度应低于工作台面。洁净室（区）内有局部排风装置时，其位置应设在工作室气流的下风侧，以免气流短路。六安无尘室净化装修