产地类别 | 国产 | 加热方式 | 红外灯管加热 |
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价格区间 | 面议 | 控温精度 | ±1℃ |
内部尺寸 | 外径Ø120mmmm | 升温速度(达到最高温) | 1min |
仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 文体 |
最大功率 | 9000W | 最高温度 | 1000℃ |
产品简介
详细介绍
小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
小型1000℃RTP管式炉技术参数
技术参数 |
1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,功率9KW(>60A保险) 2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷) 3、石英管:外径Ø110mm, 4、加热元件:红外灯管, 5、恒温区:200mm×300mm,均匀性±5℃ 6、热偶:K型热偶 7、温度:设计温度1100℃,常用900℃ 8、控温精度:±1℃ 9、升温速度:RT-800℃内50℃/s, 10、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵) 11、真空法兰: 高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封 12、流量计:16ml/min-160ml/min 13、真空计:数字真空计 14、水冷:如要求通冷却水,请) |
主要特点
1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。 2、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。 3、内插式热偶保证了温度的准确性。 4、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。 |