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EUV/XUV波前传感器

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  • 型号 XUV/EUV
  • 品牌 其他品牌
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 北京市
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更新时间:2024/08/20 11:58:35浏览次数:326

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产品简介

产地类别 进口 应用领域 环保,能源,电子,电气,综合
Hartmann波前传感器(相干和非相干辐射),紧凑结构,可以实现光化性能检测,包括EUVL 等离子源、自由电子激光、HHG高次谐波束,实时光学调整。

详细介绍

主要特点

       Hartmann波前传感器(相干和非相干辐射)

       紧凑结构

       光化性能检测

           -EUVL 等离子源

           -自由电子激光

           -HHG高次谐波束

       实时光学调整

       单个脉冲重复性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


EUV/XUV波前传感器


技术规格

       波长范围:<1nm~60nm(量子转换涂层)

       视场:9mmX6.7mm(可选更大尺寸)

       动态范围:14Bit

       Hartmann 盘:precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch

       倾角:±10°

       XY调节范围:±10mm

       UHV兼容:CF63法兰

EUV/XUV波前传感器EUV/XUV波前传感器

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


EUV/XUV波前传感器

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)


EUV/XUV波前传感器

Reconstructed intensity profile


光束测试软件

EUV/XUV波前传感器


测试基于ISO标准

Parameter

Standard

Beam diameter光束直径

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性

ISO 11670

M2 质量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

-

Around 20 various camera types are supported





巨力光电(北京)科技有限公司立足于北京市副中心通州区,专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完善的售后服务体系。

目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供优质的服务!

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