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产品简介
详细介绍
QRUI-1系列探针台产品简介：
QRUI-1系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑 ，设计精密 ，价格实惠 ，在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到广泛运用。配合对应的仪器仪表，可以用于测试各类器件的 IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内 ，配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。
QRUI-1系列探针台产品优势：
1.探针台与显示器一体化设计 ，大大减小了设备的占地空间
2.具备自适应减震系统 ，一定程度上可防止外界震动的干扰
3.U 型平台镀镍设计，不仅增大了针座的加载空间 ，还提高了针座平台和针座之间的吸附力
详细参数：
产品型号
技术参数 | QRUI-1-100 | QRUI-1-150 | QRUI-1-200 | QRUI-1-300 | |
探针台 本体 | 电压电流（可定制） | 500V/1A(标准) | 500V/1A(标准) | 500V/1A(标准) | 500V/1A(标准) |
材料 | 航空铝 | ||||
自适应减震系统 | 具备自适应减震系统 ， 一定程度上可防止外界震动的干扰 | ||||
卡盘大小 | 4 英寸 ，360 度转动 ，可微调 | 6 英寸 ，360 度转动 ，可微调 | 8 英寸 ，360 度转动 ，可微调 | 12 英寸 ，360 度转动 ，可微调 | |
卡盘行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 ，精度 2um | 6 英寸*6 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | |
卡盘吸附方式 | 真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 (适用于薄片或者射频器件) | ||||
背电极测试功能 | 具备 ，样品台电学独立悬空 ，带 4mm 香蕉头插口 | ||||
针座平 台 | 材质 | U 型平台 ，镀镍 ，与探针座之间具备更强吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4个探针座 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 | 最多可放置12个探针座 | |
显示系 统 | 显微镜 | 体式显微镜/视频显微镜 (注意视场) +CCD成像系统 | |||
倍率范围 | 15X~200X/60X~420X | ||||
调焦范围 | 50.8mm | ||||
显微镜移动 | 显微镜可绕立柱360度旋转 ，带2英寸高精度显微镜调焦机构 ，带显示器支架 | ||||
CCD 成像系统 | 200 万/500万像素 ，帧率 60fps ，带拍照/录像/测量功能等功能 | ||||
探针座 | 种类 | DMP-200/100/80/75 | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
机械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | ||||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA/20fA | |||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等 | ||||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/显微镜万向支架等 | |||
电力需求 | 220V/50HZ,10A | ||||
详细配置方案可讨论后给出
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