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当前位置：北京汉达森机械技术有限公司>>光学仪器>>光学实验设备>> P-733.3CL德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 医疗卫生,电子,综合 |
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL
应用领域：
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩模/晶圆定位
表面测量技术
纳米压印
显微操纵
图像处理/稳定
产品参数：
型号：P-733.3CL
主动轴：X、Y、Z
集成传感器：电容式
-20至120 伏时的开环行程：115 微米×115 微米×12 微米
行程，闭环：100 微米×100 微米×10 微米
分辨率，开环：0.2（Z向上为0.1）纳米
分辨率，闭环：0.3（Z向上为0.2）纳米
线性误差（X、Y）：0.03%
线性误差（Z）：0.03%
重复精度（X、Y）：<2纳米
重复精度（Z）：<1纳米
螺距（X、Y）：<±3微弧度
偏转角（X、Y）：<±10微弧度
Z向运动时的倾斜：<±5微弧度
刚度：1.4（Z向上为9）牛/微米
谐振频率，空载：460（Z向上为1400）赫兹
带120 克负载时的谐振频率：340（Z向上为1060）赫兹
带200 克负载时的谐振频率：295（Z向上为650）赫兹
运动方向上的推/拉力：50/20牛
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL
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