当前位置:北京汉达森机械技术有限公司>>光学仪器>>光学实验设备>> P-733.3CDP德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台
产地类别 | 进口 | 产品种类 | 电动 |
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价格区间 | 面议 | 应用领域 | 医疗卫生,电子,综合 |
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP
应用领域:
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩模/晶圆定位
表面测量技术
纳米压印
显微操纵
图像处理/稳定
产品参数:
型号:P-733.3CDP
主动轴:X、Y、Z
集成传感器:电容式
-20至120 伏时的开环行程:115 微米×115 微米×12 微米
行程,闭环:100 微米×100 微米×10 微米
分辨率,开环:0.2(Z向上为0.1)纳米
分辨率,闭环:0.3(Z向上为0.2)纳米
线性误差(X、Y):0.03%
线性误差(Z):0.03%
重复精度(X、Y):<2纳米
重复精度(Z):<1纳米
螺距(X、Y):<±3微弧度
偏转角(X、Y):<±10微弧度
Z向运动时的倾斜:<±5微弧度
刚度:1.4(Z向上为9)牛/微米
谐振频率,空载:460(Z向上为1400)赫兹
带120 克负载时的谐振频率:340(Z向上为1060)赫兹
带200 克负载时的谐振频率:295(Z向上为650)赫兹
运动方向上的推/拉力:50/20牛
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP
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