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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3SF
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3SF
-20至120 伏时的开环行程：120/轴微米
行程，闭环：100/轴微米
分辨率，开环：0.2纳米
分辨率，闭环：1纳米
应用领域：
光子学/集成光学
显微操纵
生物技术
半导体测试
光纤定位
产品参数：
型号：P-611.3SF
主动轴：X、Y、Z
-20至120 伏时的开环行程：120/轴微米
行程，闭环：100/轴微米
分辨率，开环：0.2纳米
分辨率，闭环：1纳米
线性误差：0.1%
重复精度：<10纳米
X、Y向上的螺距：±5微弧度
θX向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度
X向上的偏转角：±20微弧度
Y向上的偏转角：±10微弧度
θY向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度
刚度：0.3牛/微米
X/Y/Z向上的空载谐振频率：350/220/250赫兹
带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：270/185/230赫兹
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：180/135/200赫兹
负载容量：15牛
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3SF
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