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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C
德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C
主动轴：X、Y、Z
-20至120伏时的开环行程：110/轴微米
行程，闭环：100/轴微米
分辨率，1s，开环：0.3纳米
分辨率，1s，闭环：0.4纳米
线性误差：0.03%
双向重复精度，1s，10%行程范围内：<10纳米
双向重复精度，1s，行程范围内：<15纳米
应用领域：
光纤定位和对准
扫描显微镜
双光子聚合
纳米技术和纳米制造
光子学/集成光学
显微操纵
样本定位
产品参数：
型号：P-616.3C
主动轴：X、Y、Z
-20至120伏时的开环行程：110/轴微米
行程，闭环：100/轴微米
分辨率，1s，开环：0.3纳米
分辨率，1s，闭环：0.4纳米
线性误差：0.03%
双向重复精度，1s，10%行程范围内：<10纳米
双向重复精度，1s，行程范围内：<15纳米
传感器类型：电容式传感器
刚度：0.5牛/微米
X/Y/Z向上的空载谐振频率：700赫兹
带38克负载的谐振频率X/Y/Z：380赫兹
带100克负载的谐振频率X/Y/Z：250赫兹
推/拉力大小：15牛
允许转矩：0.4牛米
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C
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