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利用高能紫外线光束，使空气中产生大量的自由电子，这些电子大部分能被氧气所获得，形成负氧离子（O3－），负氧离子不稳定，很容易失去一个电子而变成活性氧（臭氧）。臭氧是高级氧化剂，既可以氧化分解有机物和无机物，对主要臭气氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯等，都可以与臭氧发生反应，在臭氧的作用下，这些恶臭气体由大分子物质被分解为小分子物质，直至矿化。臭氧产生过程如下式所示：

UV＋O2→O-+O＊(活性氧)

O＊+O2→O3(臭氧)

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