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详细介绍
日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列
- 过滤器材料全部采用SUS316L，不用担心腐蚀和中间产物，同时具备较高的耐热性能。
- 使用氮气（N2）输入，当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时，输出侧压力损失△为0.05MPa。
- 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm，实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列
规格
| 过滤精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 推荐流量 | 10～100ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线) |
| 最高使用压力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
| 最大容许差压 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
| 最高使用温度 | 460℃ |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 |
| 构成材料 | 外罩:SUS316L（电解研磨处理）元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
| 连接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |
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