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详细介绍
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
特征
- 排气→涂层（蚀刻）→全自动，直到进入大气
- 尽管是紧凑型，但仍可以进行膜厚控制（简单型）
- 全自动溅射设备，操作简便，重现性高
- 配备涂层/蚀刻模式
应用/结果示例
- 各种设备的电极膜附件
- 用于制造反射薄膜等的应用
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
基本规格
| 阴极 | φ2英寸/ 2极面对电极 |
| 溅射靶 | 包含金靶 |
| 蚀刻目标 | 包括Al目标 |
| 膜厚设定方法 | 预设方法/带膜厚监视器的数字显示 |
| 气体导入机制 | 针阀 |
| 真空泵 | 直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏） |
| 排气操作 | 自动的 |
| 箱体尺寸 | 内径φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身体：15公斤 RP：9公斤 |
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