详细介绍
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型
配备了于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。
高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行,而振动立即由高精度大功率执行器消除。
我们在地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器,并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时,还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。
配备舞台前馈功能和波形显示软件作为标准设备。
特点
- 在具有与VAAV-A系列相同的性能的同时,可以将设备的整体高度保持较低。
- 气动控制可实现各个方向的高精度位移和位置控制。
- 可以选择具有高响应速度的大流量阀,以应对较大的移动负载。
- 安全可靠的设计与CE标记兼容。(控制器SAC-07)
- 标配台前馈功能和振动波形显示分析软件。
用途
- 在半导体制造和检查设备中,它被用作对付需要精细处理的晶片上的振动的对策,并且被用作对付晶片移动台上的振动的对策。
- 在液晶制造和检查设备中,其目的是在龙门架或工作台显着移动时快速衰减振动,并立即对其进行检查或纠正,这有助于缩短节拍时间。
- 在超精密机床中,它用于消除工作台上的振动以进行精密加工,同时支持大载荷的运动。
日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型
模型 | 可安装质量(1个单位) | 尺寸(1个单位) |
---|---|---|
VAAV-1000-110H | 500-1700公斤 | 240(宽)x 240(深)x 110(高)毫米 |
VAAV-2200-110H | 1100-3700公斤 | 350(W)x 350(D)x 110(H)毫米 |
VAAV-4000-110H | 2100-7000公斤 | 420(宽)x 420(深)x 110(高)mm |
VAAV-7000-120H | 3600〜12000公斤 | 450(W)x 450(D)x 120(H)毫米 |