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详细介绍
日本东丽toray半导体，电子元件氧气分析仪MS-500
氧气分析仪MS-500
- 多可同时测量8个点
- 浓度显示范围很广，从ppm到100％。
- 非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
- 传感器为直接插入型（用于真空16/25/40的NW法兰）
- 具有特殊涂层的高度耐用的传感器，可进一步提高耐用性
日本东丽toray半导体，电子元件氧气分析仪MS-500
MS-500设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓缩池类型 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） | ||
| 显示方式 | 4位数字显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | 在±0.5％FS 0-1％范围内或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以较大者为准小于0-1％范围0-1ppm，atm范围超出保证的浓度范围 | ||
| 测量点数 | 1〜8 | ||
| 样气条件 | 压力 | 10 -3至200 KPa（压力） | |
| 流量 | 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自发扩散状态的测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-100°摄氏度 | ||
| 其他 | 请勿包含腐蚀性气体（氟气，氯气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
| 比较气 | 大气层 | ||
| 记录仪输出 | 仅变速箱输出 | ||
| 变速箱输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 没有 | ||
| 热身时间 | 6分钟以内 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） | |
| MS-510（转换器） | 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 总长100mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 总长100 mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 总长100mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） | ||
| 大众 | MS-500（控制器） | 约0.6Kg | |
| MS-510（转换器） | 约0.5kg | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
| SD25NW | 约0.2Kg | ||
| SD40NW | 约0.35Kg | ||
| 外部连接 | 真空法兰之一（NW16、25、40） | ||
| 使用电源 | 24VDC±10％ | ||
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