日本精密陶瓷碳化硅球，SiC耐磨材料

日本精密陶瓷碳化硅球，SiC耐磨材料

碳化硅（SiC）是我司擅长的材料。拥有大型真空炉，可生产1m见方的产品。
高温机械强度
耐磨耗性
高热传导性
耐腐蚀性

主要用途

• 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）

• 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）

• 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）

• 成型机部件（相机镜头成型机部件）

• 耐热部件（燃烧器喷嘴、高温试验机部件、熔融金属用坩埚）

• 耐磨部件（喷砂机喷嘴、喷丸机抛丸机叶片、埋地管道保护板、钓具导向环）

特点

碳化硅是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度gao、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
利用这些特点，使用在机械密封、化工泵轴承等方面。此外，也可用于半导体生产设备的晶圆叉等。

日本精密陶瓷碳化硅球，SiC耐磨材料

碳化硅

热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。