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日本能够评估纳米级薄膜附着力的超薄划痕测试设备

阅读:172          发布时间:2021-3-26
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日本能够评估纳米级薄膜附着力的超薄划痕测试设备

关于评价薄膜的物理强度的方法

我们将介绍用于评估薄膜的附着力和摩擦磨损的各种测试方法的概述,适用的标准以及Resca已将其制成设备的相关测试机。

由于材料和产品的表面容易受到外部机械刺激,因此通常会形成保护涂层或PVD / CVD膜。这些保护膜需要足够强的物理强度以不受这些外部因素的影响,以便保护基板不受外部因素的影响。根据这些物理强度,我们将报告膜与基材之间的粘附强度(粘附力)和摩擦磨损的评估方法。

 

附着力(附着力)

粘附力是指薄膜原子与发生在界面上的基底原子之间的相互作用。
Fowkes的近似公式如下所示,该公式通过薄膜的表面自由能和基板的表面自由能来表示该界面处的自由能。

从界面的状态(薄膜和基底粘附在一起),将薄膜和基底分离所需的能量被认为是粘附能,并且薄膜和基底的表面自由能之和基材的表面自由能和界面自由能之间的差异被认为是粘附能。将上述近似公式代入该公式中,假设薄膜和基板的表面自由能越高,则粘附能越容易粘附,如以下公式所示。

粘接强度(粘接强度)评价方法

作为评价膜的密合性(密合性)的方法,通常使用格网试验(划格法),拉伸试验,剥离法,刮擦法。除这些测量方法外,薄膜的微划痕法的测量范围如下所示。

进行木板测试(横切法)

符合JIS K5600(通用油漆测试方法)和JIS D0202(用于汽车零件的通用涂层方法)使用
锋利的刀片在薄膜表面上形成几毫米见方的网格状缺口,粘贴胶带。该方法是将粘贴在胶带上的薄膜的小面的数量作为剥离胶带时的粘合强度的指标(粘合强度/粘合强度)的方法。定量评价是困难的,并且其不能应用于粘合强度(粘合强度/粘合强度)高于胶带的粘合强度的膜。

拉伸试验

垂直将杆粘附到已制成的膜上,然后垂直拉动杆(直接剥离方法),向侧拉杆(拉动方法),或扭转杆(扭曲方法),这样做会剥落薄膜并需要施加力在那个时候就获得了。粘合强度(f)由下式计算为由所获得的力(F)作用在膜界面上的最大应力。(杆的半径为r,杆的高度为h)

  • 直接剥离法(f = F /πr2)
  • 拉动方式(f = 4Fh /πr3)
  • 扭转法(f = 3F /2πr3)

同样在该评估方法中,必须将杆粘合到膜上,并且不能像网格剥离法那样将其施加到具有比粘合剂高的粘合强度的膜上。

 

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