等离子清洗机

雅马拓等离子清洗机V1000产品特点：

■操作性·功能
●射频13.56Mhz0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗仪器，可对应更多复杂工艺.
●标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为accurate。
●液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■安全性·保护
●标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
●装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
●发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
●门锁开关：门在未*关闭时无法启动电源。
●侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
●紧急停止按键（EMO）标准配备。
●当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■产品优势
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
●硅晶圆的灰化及蚀刻。
●基板表面污垢处理。
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有机物去除。
●界面活性处理。
●表面污染物去除

雅马拓等离子清洗机V1000产品参数：