水消毒处理用臭氧发生器技术（O3）是氧气（O2）的同素异形体，是一种具有特殊气味的蓝色气体。分子结构为三角形，键角为116°，密度是氧的1.5倍，在水中的溶解度是氧的10倍。臭氧是强氧化剂，在水中氧化还原电位为2.07V，仅次于氟（2.5V），高于氯（1.36V）和二氧化氯（1.5V）。

臭氧可以破坏细菌的细胞壁，迅速扩散渗透到细胞内，氧化分解葡萄糖氧化酶等大分子。它还能直接与细菌和病毒反应，破坏细胞和核糖核酸（RNA），臭氧杀死细菌的原因是细胞膜破裂。这个过程被称为细胞耗散，因为细胞质在水中被压碎，细胞在耗散条件下不能再生。需要注意的是，与次氯酸类消毒剂不同，臭氧的灭菌效果不受PH值和氨的影响，灭菌效果比氯高600~3000倍，灭菌效果几乎是的。当水中臭氧浓度为0.3~2毫克/升时，可在0.5~1分钟内杀死细菌。臭氧水所需用量仅为氯的0.0048%，即可达到同样的灭菌效果（大肠杆菌杀灭率为99%）。

臭氧气体也可用于酵母和寄生细菌，例如，它可用于去除以下微生物和病毒。

1.一种病毒已经证明臭氧对病毒有很强的杀灭作用。比如臭氧浓度在0.05~0.45mg/L时，Poloi病毒在2mA时会失去活性。

2.在0.3毫克/升的臭氧浓度下，2.4分钟即可*去除囊肿。

3.由于孢子保护，其耐臭氧能力是生长细菌的10~15倍。

4.能杀灭真菌念珠菌和青霉菌。

5.臭氧还可以氧化分解水中的污染物，具有除臭、脱色、灭菌、除酚、除氰、除铁、除锰、降低COD和BOD等功能。

值得注意的是，臭氧虽然是强氧化剂，但其氧化能力是选择性的，而乙醇等易氧化物质不容易与水消毒处理用臭氧发生器技术发生反应进行水消毒处理。