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臭氧发生器在臭气处理中的应用是利用介质阻挡放电使空气中的氧分子产生游离氧。因为自由氧不带弯曲平衡带正负电子，氧分子需要结合产生臭氧。*，臭氧对无机物有很强的氧化分解作用，可以非常迅速地有效地处理恶臭气体和其他异味。使用高能臭氧发生器分解异味中的细菌分子键，破坏细菌的核酸（DNA），然后通过臭氧停止氧化反应，比较*地达到除臭灭菌的目的。
臭氧化法是指恶臭气体多为回收材料，氧化剂的化学性质更强，使臭气中的净化因子能更好的被氧化和区分，臭气浓度能降低到以下。目前常用的氧化剂有臭氧和活性氧。它是利用臭氧的强氧化性氧化气味中的化学成分，达到除臭目的的一种方法。气味活泼的气体很容易分解成氧气，在湿度大的地方效果更明显，所以经常在现场准备臭氧。在条件合适的情况下，臭氧和硫化氢的反应速度很快，只有一秒钟，但要和待处理气体快速均匀混合。
ROS氧化是指在ROS装置中直接应用氧化能力强的ROS，氧化臭气中的化学成分，污染气体。ROS不是稳定状态，而是在臭氧氧化或电场宏基的其他条件下的过渡状态。是氧分子和臭氧分子之间的过渡态。如果使用高压静电特殊脉冲放电，高能活性氧会迅速与无机分子碰撞，活化破坏有机分子；也许高能活性氧可以对空气中的氧分子产生二次活性氧，与有机分子反应，氧化无机分子，从而比较*地处理气味。这就是臭氧发生器在臭气处理中的应用。
