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在空气和水灭菌处理中，用于水灭菌处理的臭氧发生器对一般微生物、细菌、霉菌、酵母菌、大肠杆菌等有害物质的杀灭效果非常好，杀灭率达99%。臭氧气体的灭菌效果来源于其强大的氧化能力。臭氧气体具有很强的氧化性，可以破坏和分解细菌的细胞壁，迅速扩散到细胞内。它可以将细菌中必需的葡萄糖氧化酶氧化分解为葡萄糖，也可以直接与细菌、病毒反应，破坏细胞分解蛋白、大分子聚合物等，如脂类，并破坏细菌的新陈代谢和繁殖过程。
化学氧化：臭氧作为氧化剂、催化剂和精制制剂，广泛应用于化工、石油、造纸、纺织、制药和香料行业。臭氧气体的强氧化作用很容易破坏烯烃和炔烃的碳链键，使其部分氧化合成新化合物。
纸浆漂白：臭氧存在于制浆造纸行业，用于漂白化学纸浆或改善机械纸浆的机械性能，减少纸浆漂白过程中的环境污染。
水处理：臭氧可以快速杀灭水中的细菌、病毒等微生物，比较*地去除有机物等污染物，避免二次污染，降低生化需氧量（BOD）和化学需氧量（COD），去除亚硝酸盐、悬浮物，脱色。适用于城市污水处理、桶装水处理、工业废水处理、浴场游泳池水的回收利用。
用于水灭菌处理的臭氧发生器系统主要利用高压臭氧放电室产生臭氧，然后通过射流混合技术将臭氧溶解在水中，形成高浓度的臭氧水。臭氧水系统具有产量大、浓度高的特点，可广泛应用于食品、制药工业用水、畜牧业用水、牲畜屠宰用水、污水处理等行业。
