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SM930 系列可供多种手动操作人员和气动执行器使用。提供良好的可靠性、泄露完整性和洁净性，使其成为UHP超高纯半导体模块化贴面安装系统应用的理想选择。
产品简介
详细介绍
parker派克超纯隔膜阀 UHP 超高纯贴面安装隔膜阀 – 手动或气动 (真空 - 250 psig) – SM930 系列 | #SM930KS102VESP OBSOLETE
SM930 系列可供多种手动操作人员和气动执行器使用。提供良好的可靠性、泄露完整性和洁净性，使其成为UHP超高纯半导体模块化贴面安装系统应用的理想选择。
物品信息
派克SM90系列贴面安装不锈钢阀体隔膜阀(1-1/8
和 1-1/2
阀体尺寸) 提供优异的泄露完整性、高循环寿命和低粒子生成，使其UHP超高纯半导体应用的理想选择 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。
SM930系列与工艺流体接触部分无螺纹或弹簧，大限度地减少粒子生成和气体截留，减少对半导体应用关重要的过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片应力，提供稳定和无需维护使用寿命。SM930系列接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄露完整性。阀体为内部电解抛光Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克的UHP超高纯级不锈钢。隔膜材料为高强度钴基合金。SM930系列同时提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 阀座材料，允许SM930与多种工艺流体兼容。这些材料由SM955系列严格设计组成，使SM930系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250 psig.
SM930系列气动阀可配套限位开关或接近开关提供开-关位置指示。也有多种阀体结构，包括930Y（Y阀）和930（面密封和短管接口）.
SM930系列阀门的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪达到在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
parker派克超纯隔膜阀特点/优势:
• 有C和W密封贴面安装1-1/8
和1-1/2
阀体尺寸
• 5微英寸(Ra粗糙度)电抛光表面处理
• 高循环寿命(包括腐蚀性工矿)
• 内部无弹簧无螺纹，大限度地减少粒子生成和气体截留
• 压力范围：真空到250 psig
• 内漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 常规气动动作压力75 psig
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 气体柜
• 阀组箱 (VMB)