RAMAN
碳化硅（SiC）晶圆全表面
晶体多晶型拉曼成像
BRUKER
借助先进拉曼成像技术，帮助您进行碳化硅（SiC）晶圆中多晶型分析！我们最新的应用说明_R548碳化硅（SiC）晶圆全表面晶体多晶型拉曼成像重点展示了RAMANdrive显微镜如何实现全表面的3D成像，以亚微米级精度解析晶体多晶型、应力分布与缺陷情况。
探索这项创新技术如何助力研发适用于恶劣的环境的高可靠性宽禁带半导体器件。阅读更多，发掘其在碳化硅（SiC）晶圆分析领域的变革性潜力。
RAMANdrive
拉曼显微镜
RAMANdrive 是一款专为晶圆分析设计的超快速、高分辨共聚焦拉曼显微镜，它配备了 300 mm 专属载物台，确保在整个晶圆范围内实现卓越的稳定性与精确度。
RAMANdrive 搭载先进的快速拉曼显微技术，专为推动半导体研发突破而设计，加速创新进程。
300 毫米晶圆载物台核心特性：
兼容大尺寸晶圆：支持最大 300 mm晶圆，通过连接至细小通道的真空管线稳稳固定。
整片晶圆全覆盖：激光可覆盖整个晶圆表面。
适配厚样品：载物台深槽设计满足较厚样品的分析需求。
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应用说明_R548碳化硅（SiC）晶圆全表面晶体多晶型拉曼成像原文档
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