详细介绍
Lamtech激光平面度测量仪
LAMTECH平面度快速测量机,采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于航空航天,汽车工业喷油嘴行业,泵、阀门密封件表面,以及光学工程,激光工程等领域。
TOPOS 100 是一款非接触式平坦度测量仪器,用于精密制造表面,具有亚微米精度。 TOPOS 平坦度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求,用于精密部件(例如燃油喷射 系统、泵或阀门)的生产和质量控制。
Lamtech激光平面度测量仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度,光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 部件可以由多种材料组成: -金属(钢,铝,青铜,铜等) -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上,靠近加工机。 在整个测量区域内,精度高达 0.1µm。
平面度检测仪技术参数:
型 号 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
测量范围(直径) | 50mm | 100mm | |
参考平面平面度 | 优于0.06μm | ||
参考面材料 | 石英玻璃 | ||
灵敏度 | 0.5,1,2或4μm每纹 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 | ||
Z轴波动范围 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重复性 | 优于0.01μm1) | ||
分辨率 | 优于0.01μm | ||
数据采集量 | 300,000点 | ||
测量时间 | 小于2s | ||
整体尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg |
应用示例: