2023/09/01
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善准科技VP-R系列真空等离子清洗机采用低温真空石英腔体等离子清洗装置技术，对标国际一线厂家，补充国内技术短板。VP-R系列腔体采用石英玻璃材质，频率13.56MHz，功率160W，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。