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32次善准全自动真空等离子清洗机VP-A系列是善准等离子体技术的“集大成者",将等离子处理工艺优化的“颗粒度"提高到了全新的水平,为高质量、高水平的生产和研究提供了有力支撑。全自动真空等离子清洗机VP-A7有四个参数可以优化:处理时间、通入气体的流量、通入气体的种类和功率;处理时间可精确到秒,气体流量精度可控制在±1%,流量0-300sccm中任选并可在触摸屏选择20种气体,几乎覆盖了等离子处理工艺所需的气体,功率大小可调节,提供无极连续调节,使等离子处理工艺的可靠性、重复性、精细化都获得了极大提升。
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