善准分子泵机组MPU-90i详细技术参数

善准分子泵机组MPU-90i是由涡轮分子泵+前级泵+真空规组成的创新型产品，适用于扫描/透射电子显微镜（SEM/TEM）、质谱仪、低温真空探针台、真空镀膜机、原子层/激光沉积设备（ALD/PLD）、真空退火炉、氦质谱检漏仪、超高真空密封石英管等领域，为用户提供超高真空一站式解决方案。

1.超高真空：极限真空度可达到10^-6Pa，真空度触摸屏数字显示

2.操作简易：提供中英文操作界面，触摸屏一键启动分子泵和前级泵

3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止误操作损坏分子泵，控制软件，操作简易，安全可靠

4.一机两用：前级泵可独立使用，满足粗真空下的使用场景；也可以前级泵+分子泵联动使用，获得超高真空环境，一机两用，性价比高

5.安装简单：分子泵机组出厂前已完成分子泵、前级泵、触摸屏安装，且完成气密性检测

6.全量程真空规：真空测量范围1x10⁵-1x10^-6Pa,垂直安装确保测量准确